Caracterização de Dispositivos Otto Chip por Reflectometria Óptica de Varredura.
Palavras-chave: Plasmônica. Transdutores Ópticos. Microfabricação. Sensores Integrados. Otto Chip.
O fenômeno de ressonância de plásmons de superfície tem sido amplamente aplicado ao projeto e construção de sensores ópticos em tempo real. Com poucos dispositivos em fase comercial e cabíveis de serem empregados em sistemas de medição embarcados, a possibilidade de sensor plasmônico integrado confiável é uma busca tecnológica em aberto. Desta necessidade surge o Otto Chip, dispositivo em substrato de silício que implementa a configuração de Otto a partir de técnicas de microfabricação.
Este trabalho propõe uma plataforma de caracterização destes dispositivos e busca identificar parâmetros de qualidade, confiabilidade e modos de operação do transdutor. Quatro versões diferentes do Otto Chip são caracterizadas por reflectometria e microscopia óptica com fim de obter informações sobre qualidade de selamento entre camadas, regiões de desgaste do substrato e área da região ativa, tida como a região onde fenômeno de Ressonância de Plásmon de Superfície é observado.