FABRICAÇÃO DE BASTÕES DE ZnO E USO DE LITOGRAFIA POR FEIXE DE ELETRÓN PARA MONTAGEM DE ESTRUTURAS PARA MEDIR EFEITOS DE TRANSPORTE
Óxido de zinco, nanoestruturas, litografia, efeitos de transporte.
O óxido de zinco (ZnO) é um semicondutor com uma ampla gama de aplicações em dispositivos eletrônicos e optoeletrônicos. Esse material pode ser processado em diversas morfologias, empregando diferentes métodos de fabricação, o que permite a otimização de suas propriedades para aplicações específicas. Neste estudo, utilizamos diferentes rotas de limpeza nos substratos de silício para obter os bastões de ZnO na sua forma wurtzita hexagonal. Com essas nanoestruturas à base de ZnO é possível se beneficiar da litografia por feixe de elétrons (EBL), uma técnica avançada de nanofabricação que permite a criação de padrões em escala nanométrica com alta precisão, sendo crucial para o desenvolvimento de estruturas e componentes de alto desempenho. Com o uso dessa técnica e do ZnO é possível ter um controle rigoroso das dimensões das estruturas, impactando diretamente as propriedades eletrônicas e ópticas do material. Esse material serve como base para realizar estudo de efeitos de transporte como condutividade e mobilidade dos portadores de carga, onde eles podem ser modificados por características como o confinamento quântico, interações de superfície e variações de mobilidade, influenciando o desempenho de dispositivos como transistores e sensores.